PROJECT
반도체 PROJECT
카티아 첨단 AI캠퍼스 수강생들의 실제 프로젝트 결과물입니다.
반도체후공정 자동화를 고려한 EFEM 통합 설계
EDS 공정 연계 EFEM 자동화 모델 설계·최적화 반도체 공정 연동을 고려한 EFEM 자동화 구조 설계 프로젝트
반도체후공정 통합을 위한 EFEM 설계
파티클·정렬 오차를 줄이는 Dicing·Bonding 통합 EFEM 설계 후공정 정밀도 향상을 고려한 통합 EFEM 자동화 구조 설계
반도체ALD 공정 최적화를 위한 EFEM 설계
ALD 공정 특성을 고려한 EFEM 구조 및 이송 효율 최적화 설계
반도체EFEM Design - Team 1
반도체 웨이퍼 이송 자동화 장비의 구조를 분석하고, Load Port, Aligner, ATM Robot 등 공정 모듈설계한 팀 프로젝트
