PROJECT
카티아 첨단 AI캠퍼스 수강생들의 실제 프로젝트 결과물입니다.

EFEM 역설계를 바탕으로 비접촉 이송·정렬과 청정 운용 구조를 개선한 반도체 자동화 장비 설계 프로젝트

EFEM 역설계 경험을 기반으로, 디자인·구조개선·설계 자동화와 디지털 트윈까지 확장한 프로젝트

EFEM 구조 이해를 바탕으로 웨이퍼 이송에서 ALD 공정까지 이어지는 반도체 장비 통합 시스템 설계 프로젝트

EDS 공정 연계 EFEM 자동화 모델 설계·최적화 반도체 공정 연동을 고려한 EFEM 자동화 구조 설계 프로젝트

파티클·정렬 오차를 줄이는 Dicing·Bonding 통합 EFEM 설계 후공정 정밀도 향상을 고려한 통합 EFEM 자동화 구조 설계

ALD 공정 특성을 고려한 EFEM 구조 및 이송 효율 최적화 설계

반도체 웨이퍼 이송 자동화 장비의 구조를 분석하고, Load Port, Aligner, ATM Robot 등 공정 모듈설계한 팀 프로젝트