반도체
EFEM 기반 ALD Cluster 공정 시스템 설계
김O훈, 김O윤, 최O혁, 구O연, 박O현, 윤O혜·
EFEM 구조 이해를 바탕으로 웨이퍼 이송에서 ALD 공정까지 이어지는 반도체 장비 통합 시스템 설계 프로젝트
반도체
EFEM 기반 ALD Cluster 공정 시스템 설계
김O훈, 김O윤, 최O혁, 구O연, 박O현, 윤O혜·
EFEM 구조 이해를 바탕으로 웨이퍼 이송에서 ALD 공정까지 이어지는 반도체 장비 통합 시스템 설계 프로젝트
