반도체
2층 구조 EFEM 기반 Pre-Etch Cleaning 시스템 설계
김O준, 조O현, 이O민, 윤O혁·
2층 구조 EFEM 기반 Multi-Wafer 세정 시스템과 후속 식각 공정 연계를 설계한 반도체 자동화 장비 프로젝트
반도체
2층 구조 EFEM 기반 Pre-Etch Cleaning 시스템 설계
김O준, 조O현, 이O민, 윤O혁·
2층 구조 EFEM 기반 Multi-Wafer 세정 시스템과 후속 식각 공정 연계를 설계한 반도체 자동화 장비 프로젝트
